セラミック材料は主に金属酸化物で構成されており、耐久性や耐熱性が高いので、高温で動かすデバイスに用いることができます。私は、セラミックのナノ微粒子を用いて、電気泳動堆積法（EPD法）という湿式プロセスによりミクロンサイズのセラミック薄膜を作っています。EPD法は、懸濁液中で荷電した微粒子に電圧を印加することで、電気泳動させて基板上に堆積させる方法です。成膜の条件によって高密度で孔の空いていない緻密膜から、無数の孔が空いた多孔質膜まで作製することができます。これらの膜を燃料電池やガスセンサの電解質や電極膜として応用しています。
